Der 3-Koordinaten Planarmotor erzeugt unmittelbar und ohne mechanische Bewegungswandler gesteuerte Bewegungen in den drei Koordinaten der Ebene. Das heißt, der Motorkopf kann sich in den zwei kartesischen Koordinaten x und y bewegen und sich prinzipiell beliebig weit drehen.

Der Motorkopf beinhaltet vier Induktoren, die einzeln angesteuert werden, vier Luftlager (nicht dargestellt) und zwei optische 2D-Navigationssensoren. Die Luftlager stellen einen definierten Abstand zur Grundplatte her.
Die Grundplatte bildet das Sekundärteil und besteht aus Stahl mit einer homogenen Kupferauflage. Die Zuleitungen sind nicht dargestellt.
Die vier Induktoren sind zusätzlich noch einmal oberhalb des Motorkopfes zu sehen. Die Pfeile geben die Wirkungsrichtung an, in der Vorschubkräfte erzeugt werden können.

Literatur:
Dittrich, P.; Radeck, D.: Positionierung mit einem 3 – Koordinaten Planarmotor. SPS/IPC/DRIVES 2004
Dittrich, P.: Integrierte Mehrkoordinaten–Asynchronantriebe. 4. Polish-German Mechatronic Workshop 2003, S. 85-88, Ilmenau 2003
Dittrich, P.; Loos, A.; Oravecz, T.: Planarantrieb aus Induktionsmotoren. Feinwerktechnik & Mikrotechnik 110(2002), H5., S. 16-18
Dittrich, P.: Asynchroner Mehrkoordinatenantrieb. DE OS 197 12 893 A1